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Article光譜共焦測量透明件的平整度和厚度
更新時(shí)間：2023-11-15 點(diǎn)擊次數(shù)：1568次
光譜共焦傳感器透明件的平整度和厚度可同時(shí)測量
光譜共焦傳感器特點(diǎn)
1、光譜共焦傳感器和傳統(tǒng)三角測距法比較
三角測距是利用感光元件(CCD/CMOS)上的光點(diǎn)位置變化來測量被測物的距離變化。雖然通過從感光波形計(jì)算出峰值或重心等特征量可減小誤差，但從原理上，材質(zhì)不同或?qū)ο笪飪A斜會(huì)導(dǎo)致感光波形出現(xiàn)位置偏差或波形混亂，從而產(chǎn)生測量誤差
測量點(diǎn)錯(cuò)位問題
使用傳統(tǒng)三角測距法時(shí)，隨著高度不同，測量位置或光斑大小會(huì)發(fā)生改變。而光譜共焦傳感器的同軸共焦原理可以保證即使被測物存在傾斜或翹曲，也可進(jìn)行高精度的測量，測量點(diǎn)不會(huì)改變。
2、光譜共焦傳感器可穩(wěn)定測量任何材質(zhì)表面
3、光譜共焦傳感器*角度特性，zui大可測傾角87度
針對(duì)鏡面、透明、半透明體表面也可以有*角度特性
傳統(tǒng)三角測距法，測量鏡面體時(shí)，對(duì)傳感器的安裝角度有苛刻的要求。在使用多頭測量玻璃或柔性樣品厚度的應(yīng)用中，安裝時(shí)必須對(duì)各個(gè)傳感器進(jìn)行高精度的角度調(diào)整。使用光譜共焦傳感器，無需嚴(yán)格的角度調(diào)整就可進(jìn)行高精度測量。即使被測物在運(yùn)動(dòng)過程中的跳動(dòng)也不會(huì)對(duì)測量造成過大影響。
4、光譜共焦傳感器可同時(shí)測量并輸出位移和厚度
透明件的平整度和厚度可同時(shí)測量
鏡面、透明、半透明體表面也可以有*角度特性傳統(tǒng)三角測距法，測量鏡面體時(shí)，對(duì)傳感器的安裝角度有苛刻的要求。在使用多頭測量玻璃或柔性樣品厚度的應(yīng)用中，安裝時(shí)必須對(duì)各個(gè)傳感器進(jìn)行高精度的角度調(diào)整。使用共焦位移傳感器，無需嚴(yán)格的角度調(diào)整就可進(jìn)行高精度測量。即使被測物在運(yùn)動(dòng)過程中的跳動(dòng)也不會(huì)對(duì)測量造成過大影響。
